| 潔凈度100級(jí) | cleanliness class 100 | 大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒／m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒／m3(3.5粒/L)； | 大于等于5μm的塵粒數(shù)為0 |
| 潔凈度1000級(jí) | cleanliness class 1000 | 大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500粒／m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒／m3(35粒/L) | 大于等于5μm的塵粒數(shù)小于等于300粒／m3(0.3粒／L) |
| 潔凈度10000級(jí) | cleanliness class 10000 | 大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3(35粒/L)到小于等于350000粒／m3 (350粒／L) | 大于等于5μm 的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3 (3粒/L) |
| 潔凈度100000級(jí) | cleanliness class 100000 | 大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350000粒／m3(350粒/L)到小于等于3500000粒／m3 (3500粒／L)； | 大于等于5μm的塵粒數(shù)大于3000粒／m3(3粒／L)到小于等于30000粒／m3(30粒／L) |
| 潔凈度300000級(jí) | cleanliness class 300000 | 大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500000粒／m3(3500粒／L)到小于等于10500000粒／m3 (10500粒/L) | 大于 等于5μm的塵粒數(shù)大于30000粒／m3(30粒／L)到小于等于90000粒／m3 (90粒/L) |
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